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        微粒过滤和控制AMC在晶圆设备的生产过程中是必须的，这也是追求高收益、低退货率的半导体产业首当其冲需要解决的问题。洁净室最突出的问题是产品、工具、加工过程中气味控制的污染。传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。如今AAF的AstroFan FFU 使用自带风机的过滤装置，解决了繁琐的安装问题，性价比很高，是目前市场上最安静、价格优良的一种机组，为洁净室输送高质量的循环空气。

此外，空气中的分子污染物会随着温度和湿度的相对作用而增加，从而加速产品的表面氧化和腐蚀。AAF的初效及中效过滤器可以有效地除去液体和空气中的固体颗粒，保护设备的正常工作和空气的洁净。