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国际标准ISO 14644-1 由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出，是目前广为全球接受的鉴定洁净室和洁净区清洁度级别的标准。根据空气中悬浮粒子浓度，该标准划分了洁净室及相关受控环境中空气洁净度的等级：
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ISO等级序数 |
大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值 |
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0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
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ISO Class 1 |
10 |
2 |
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ISO Class 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class 3 |
1 000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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ISO Class 4 |
10 000 |
2 370 |
1 020 |
352 |
83 |
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ISO Class 5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
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ISO Class 6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
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ISO Class 7 |
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352 000 |
83 200 |
2 930 |
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ISO Class 8 |
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3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
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ISO Class 9 |
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35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
注： 1、由于涉及测量过程的不稳定性，一般要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。
2、粒径范围内粒子浓度的实际分布情况通常是不可预测的，并且是随着时间而变化的
3、适用于本国际标准分级的粒径范围限于0.1μm-0.5μm
